科技部高屏地區奈米核心設施共同實驗室

科技部高屏地區奈米核心設施共同實驗室 提供全國、業界貴重儀器(如:FIB、CVD、ICP、黃光室等)設備操作使用

本實驗室於2004年起陸續建構奈米科技研究所需之各項儀器及設備,更於本校理學院理1012及1013室成立等級Class10000之無塵室及黃光室。該無塵室佔地約80坪、廠務端約佔地20坪。

目前在製程儀器方面有
1.Mask Aligner及附屬設備
2.HDP-CVD
3.ICP
4.Sputter
5.E-Beam
6.RTA NO.1
7.RTA NO.2 (水氣)
8.雷射濺鍍(建置中)
9.雷射退火(建置中)

分析儀器有
1.FIB
2.4 point probe
3.n&k analyzer
4.3D Alpha-Step

不足之部分則結合本校奈米中心及貴儀中心,方便校內外使用者使用。

目前全面開放給全國學術界及業界自行操作或委託操作,相關訊息請查看本實驗室網站(http://140.117.32.239:81/nano/ncf/ncfindex.asp)

2014年隨政府將“國科會”升格從“科技部”,因此本實驗室名稱也改為科技部高屏地區奈米核心設施共同實驗室。

想研究半導體製程,但苦無儀器設備的研究人員;想開發新的產品卻找不到教授合作的廠商;對半導體製程產業很有興趣想更進一步了解的大學生或高中生。中山大學奈米核心實驗室-無塵室絕對是您最好的選擇。本實驗室從2004年成立至今,已成立21年!我們擁有...
18/12/2025

想研究半導體製程,但苦無儀器設備的研究人員;想開發新的產品卻找不到教授合作的廠商;對半導體製程產業很有興趣想更進一步了解的大學生或高中生。

中山大學奈米核心實驗室-無塵室絕對是您最好的選擇。

本實驗室從2004年成立至今,已成立21年!
我們擁有最安全及最完整的半導體製程環境。也很樂意幫忙媒合學校專家學者。更歡迎各大專院校高中職蒞臨參觀。

預約參觀及儀器預約使用,請洽07-5252000 #3703,謝謝

#科普 #教育 #半導體 #108課綱 #生涯探索 ▍比指甲還小的晶片,為什麼有如此強大的功能?在上一集終於了解到半導體的重要性,也發現台灣世界上最重要的半導體產地之一,不斷追求更小更精密更穩定的高品質積體電路,讓人.....

奈米核心-無塵室,環境歷經2個月的環境設備更新,目前已經完工。全新環境將重新開放,持續提安全的作業環境及專業的半導體製程儀器設備供給使用者使用,歡迎舊雨新知,各方先進來自行操作或委託操作。歡迎來電諮詢07-5252000 #3703  al...
17/12/2025

奈米核心-無塵室,環境歷經2個月的環境設備更新,目前已經完工。全新環境將重新開放,持續提安全的作業環境及專業的半導體製程儀器設備供給使用者使用,歡迎舊雨新知,各方先進來自行操作或委託操作。歡迎來電諮詢
07-5252000 #3703
aligner



-beam

&k analyzer
-Step
probe
-Bench

恭喜,本實驗室兩位博士生技術員獲得台積電獎,奈米核心實驗室,改裝已經完成即將重新開放,歡迎大家來電諮詢。網址:https://khvic.nsysu.edu.tw/p/412-1345-24285.php?Lang=zh-tw聯絡電話:07...
14/12/2025

恭喜,本實驗室兩位博士生技術員獲得台積電獎,奈米核心實驗室,改裝已經完成即將重新開放,歡迎大家來電諮詢。

網址:https://khvic.nsysu.edu.tw/p/412-1345-24285.php?Lang=zh-tw

聯絡電話:07-5252000 #3703

https://www.ctee.com.tw/news/20251212701051-430502?utm=copy_link

#台積電

台灣半導體產業協會(TSIA)2025年博士研究生獎揭曉,國立中山大學電機系郭庭慈與材光系郭娟瑋雙雙獲獎,是今年全台12位得主中,僅有的2位女性獲獎者,展現中山大學在培育半導體尖端人才上的實力,也凸顯女性研究者在科....

https://www.youtube.com/watch?v=5INNXnOy-rk
07/08/2023

https://www.youtube.com/watch?v=5INNXnOy-rk

日前南韓科學團隊宣稱,製作出常溫常壓超導體「LK-99」,引發全球熱議,至於什麼是LK-99?,這是一種灰黑色、六方晶體結構,在「鉛磷灰石」的基礎上,摻雜「銅」而得來,據稱可是攝氏127度以下作為「常溫超導體」材料,.....

19/01/2023

中山大學-奈米核心設施
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